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Dayoo Advanced Ceramic Co.,Ltd
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단열 성능 정밀 측정 장비 및 산업 검사용 알루미나 세라믹 기반

제품 세부 정보

원래 장소: 중국에서 만들어졌습니다

브랜드 이름: Dayoo

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강조하다:

스푸아르 알루미나 제품

,

스푸어 타입 알루미나 제품

Max Operating Temperature:
1700°C
Flexural Strength:
350 MPa
Dielectric Loss:
0.0002
Method:
lsostatic presure
Dimensional Tolerance:
±0.001 mm
Machinability:
Difficult
Mechanical Strength:
High
Alumina Content:
95%
Tensile Strength:
200 MPa
Type:
Alumina Ceramic Parts
Size:
Customized
Dielectric Constant:
9.8
Materials:
92% alumina powder
Surface Finish:
Polished
Thermal Expansion Coefficient:
8.5 x 10^-6 /K
Max Operating Temperature:
1700°C
Flexural Strength:
350 MPa
Dielectric Loss:
0.0002
Method:
lsostatic presure
Dimensional Tolerance:
±0.001 mm
Machinability:
Difficult
Mechanical Strength:
High
Alumina Content:
95%
Tensile Strength:
200 MPa
Type:
Alumina Ceramic Parts
Size:
Customized
Dielectric Constant:
9.8
Materials:
92% alumina powder
Surface Finish:
Polished
Thermal Expansion Coefficient:
8.5 x 10^-6 /K
단열 성능 정밀 측정 장비 및 산업 검사용 알루미나 세라믹 기반

단열 성능 정밀 측정 장비 및 산업 검사용 알루미나 세라믹 기반

 

이 알루미나 세라믹 지원 기지는 반도체, 광학 및 정밀 측정 장비에 특별히 설계 된 99.6% 고 순수 Al2O3 재료를 사용하여 제조됩니다.0의 초고 평면성0.01mm/m 및 7.2 × 10−6 °C의 열 팽창 계수, 제품은 극한 온도 (- 60 °C ~ 1500 °C) 및 진공 환경 (≤ 10−8Pa) 에서 예외적인 차원 안정성을 유지합니다.

 

핵심 응용 분야

  • 반도체 장비: 리토그래피 웨이퍼 스테이지, 에칭 원자로 챔버 베이스

  • 정밀 광학: 레이저 인터페로미터 참조 플랫폼, 우주 망원경 거울 장착장

  • 분석 도구: 전자 현미경 표본 단계, 질량 분광기 이온 소스 지원

  • 산업 검사: CMM 기계 기단, 둥글기 테스트 턴테이블

  • 새로운 에너지: 연료전지 스택 받침대, 태양광 코팅 장비 운반기

 

성능 장점 매트릭스

특징 기술 사양 응용 가치
열 안정성 ΔL/L<0.001%/°C 열 유동 오류를 제거합니다.
진공 호환성 방출 속도 <10−11Pa·m3/s 초고 진공을 유지합니다.
기계적 강도 굽힘 강도> 400MPa 변형 없이 정밀 부품 지원
단열 성능 부피 저항> 1016Ω·cm 전기 누출 간섭을 제거

 

기술 사양

매개 변수 표준형 고 정밀 타입
물질적 순결 990.6% Al2O3 990.9% Al2O3
평면성 ≤0.02mm/m ≤0.005mm/m
표면 거칠성 Ra0.1μm Ra0.025μm
열 팽창 계수 7.5×10−6/°C 7.2×10−6/°C
진공 누출률 <10−10mbar·L/s <10-11mbar·L/s

 

정밀 제조 공정

  1. 파우더 처리: 0.1μm 스프레 granulation과 함께 고 순수 분말

  2. 형성 과정: 일정 압축 (300MPa) 과 CNC 녹색 가공 결합

  3. 합금 기술: 수소 대기에서 1700°C에서 경사형 sintering

  4. 정밀 가공:

    • 5축 밀링 (±0.002mm)

    • 자석지방정화 (표면 정확도 λ/20@632.8nm)

  5. 청정실 처리: 100급 청정실에서 조립 완료

  6. 완전 검사: 레이저 간섭계 + CMM 전체 차원 검사

 

설치 지침

  • 설치 요구 사항:
    ✓ 토크 레인치 사용 (보증값 1.5±0.2N·m)
    ✓ 청소실용 도구 사용
    ✓ 권장 열 일치 사전 조정 (온도 경사 <2°C/min)

  • 환경적 한계:
    - 수소화산과의 접촉을 피하십시오.
    열 충격을 피합니다 > 200°C/min
    -1600°C 이상 지속적인 산화환경에 적합하지 않음

 

봉사 의 헌신

  • 기술 지원: 무료 FEA 스트레스 분석

  • 신속 한 반응: 72시간 신속 서비스

  • 추적성 관리: 10년 동안의 전체 생산 기록

  • 인증 지원: 제공된 SEMI/FDA/ISO 인증 문서

 

FAQ

Q: 실리콘 카바이드 부품과 열 일치를 어떻게 보장합니까?
A: CTE 기울기 전환 설계가 가능합니다 (7.2-4.5×10−6/°C 조절)

Q: 최대 처리 가능한 크기?
A: 현재 기술 제한 500×500×100mm (특별 도구가 필요합니다)

Q: 전도 변조가 지원되나요?
A: 표면 저항 104-1010Ω의 사용자 정의 가능한 항 정적 버전

질문: 웨이퍼 수준의 청결은 어떻게 보장됩니까?
A: VHP (증기화 된 수소 과산화) 로 최종 살균

 

 

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