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세라믹 노즐

(17)

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반도체 응용 분야를 위한 높은 열전도율 및 1400°C 고온 저항을 갖춘 다이아몬드 모양의 속이 빈 탄화규소 세라믹 웨이퍼 캐리어

제품 세부 정보

원래 장소: 중국

브랜드 이름: Dayoo

지불 및 배송 조건

최소 주문 수량: 맞춤형

가격: CNY

포장 세부 사항: 패키지

배달 시간: 60 근무일

공급 능력: 공장

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제품 세부 정보

제품 설명

강조하다:

높은 열전도율:	예	열충격 저항:	좋은
최대 온도:	1380 ℃	굽힘 강도:	280 Mpa
청정:	98%	압축강도:	> 2GPa

높은 열전도율:	예
열충격 저항:	좋은
최대 온도:	1380 ℃
굽힘 강도:	280 Mpa
청정:	98%
압축강도:	> 2GPa

반도체 응용 분야를 위한 높은 열전도율 및 1400°C 고온 저항을 갖춘 다이아몬드 모양의 속이 빈 탄화규소 세라믹 웨이퍼 캐리어

다이아몬드형 중공 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 캐리어 | 정밀 중공 SiC 세라믹 지지 플레이트

제품 소개

본 제품은 고순도 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹 원료로 제조된 다이아몬드형 중공 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 캐리어입니다. 전체적으로 다이아몬드 외곽선과 중앙의 다층 환형 방사형 중공 구조를 특징으로 합니다. 상압 고온 소결 및 정밀 가공을 통해 제작되어 높은 밀도, 경량 구조 및 우수한 열 전도성을 자랑합니다. 중공 설계는 자체 무게를 효과적으로 줄이고 가스 순환을 개선합니다. 고온 공정 장비의 핵심 하중 지지 세라믹 부품으로 사용됩니다.

응용 분야

반도체 웨이퍼 열처리, 태양광 실리콘 웨이퍼 소결, 광학 부품 어닐링, 진공 고온로 및 기타 장비에 널리 채택됩니다. 웨이퍼 캐리어, 공기 흐름 배플 및 고온 고정구로 작동하여 작업물을 지지하면서 로 내부의 균일한 공기 흐름과 온도 분포를 보장합니다.

핵심 장점

뛰어난 내열성: 연속 작동 온도 최대 1400°C, 고온에서 치수 안정성 유지.
균형 잡힌 열 전도성 및 우수한 열 안정성: 높은 열 전도성과 우수한 열 충격 저항성, 반복적인 가열 및 냉각 주기 동안 균열에 강함.
고순도 및 오염 방지: 낮은 불순물 침전으로 웨이퍼 및 정밀 부품의 오염 방지.
경량 중공 구조: 무게를 줄이고 공기 순환을 최적화하여 가열 및 냉각 속도 향상.

사양 매개변수

표

항목	매개변수
재질	무압 소결 실리콘 카바이드(SiC) 세라믹
밀도	≥3.10g/cm³
굽힘 강도	≥350MPa
연속 작동 온도	≤1400°C
치수 허용 오차	±0.02mm
기공률	<0.5%

생산 공정

원료 혼합 및 과립화 → 불규칙한 모양 건식 프레스 성형 → 고온 소결 → 표면 정밀 연삭 → CNC 중공 밀링 → 표면 연마 → 초음파 세척 → 전체 치수 검사 → 진공 포장

사용 지침

처음 사용하기 전에 캐리어를 완전히 베이킹하여 흡착된 불순물을 제거하십시오.
작업물을 놓을 때 가장자리와 모서리에 충격을 피하도록 부드럽게 다루십시오.
심각한 열 충격을 최소화하기 위해 가열 및 냉각 속도를 제어하십시오.
공기 흐름을 원활하게 유지하기 위해 중공 슬롯 내부의 침전물을 정기적으로 청소하십시오.

애프터 서비스

도면 또는 샘플에 따른 중공 패턴 및 전체 치수 맞춤 제작, 프로토타입 시험 서비스 제공. 모든 제품은 배송 전에 전체 검사를 거치며 검사 보고서가 제공됩니다. 비인공적인 품질 결함에 대한 애프터 서비스 솔루션. 고온 작업 조건 선택을 위한 전문 기술 지원.

자주 묻는 질문

Q: 알루미나 세라믹 캐리어에 비해 SiC 캐리어의 장점은 무엇입니까?

A: 실리콘 카바이드(SiC)는 내열성, 열 전도성 및 열 충격 저항성이 더 뛰어나 지속적인 고온 및 빈번한 열 사이클이 있는 열처리 공정에 더 적합합니다.

Q: 중공 패턴과 외부 치수를 수정할 수 있습니까?

A: 예. 외부 프로파일, 중공 레이아웃 및 플레이트 두께는 작업물 크기에 따라 조정할 수 있습니다.

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다이아몬드형 중공 실리콘 카바이드 세라믹 웨이퍼 캐리어 | 정밀 중공 SiC 세라믹 지지 플레이트

제품 소개

응용 분야

핵심 장점

사양 매개변수

생산 공정

사용 지침

애프터 서비스

자주 묻는 질문

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